微电子半导体行业

半导体行业对工艺可靠性、耐化学腐蚀性及关键介质的可靠处理有着较高要求。针对超纯水、腐蚀性化学品及研磨液，Meoowell提供坚固耐用、节省空间且适用于洁净室的解决方案，确保设备稳定运行。

适用于其他应用领域的抗体材料

对于其他行业的关键流体处理，阀体材料可选（如PTFE，PVDF，PFA或PP）。

 

用于测量，控制和分配任务的多通道阀

定制的多功能单元适用于开/关自动控制系统。它们也适用于短时间，快速的定量和控制功能循环。

 

半导体无尘系统

半导体无尘工艺可能具有挑战性：腐蚀性、研磨性和有毒气体和/或气流中的冷凝水和高水平的副作用都会严重影响真空阀的功能和可靠性。真空阀的主要功能包括防止回流污染，流速控制和泵隔离。

过程控制和隔离

真空和气体流的高精度控制和隔离在半导体制造中是至关重要的。在上游和下游过程中，所有的阀门功能必须保证在大量的循环中具有精确的重复性。其结果是：在规定的时间间隔内保持精确的体积流量和一致的、可靠的密封


产品适用

· 制造太阳能晶圆和平板

· 化学药剂定量供给

· 印刷电路板和微芯片生产

· LED的生产

· 金属沉积

通过支持早期阶段的研究和开发、前段制程/后段制程生产，以及全厂范围内的设施性能。应用范围涵盖后端洁净室模具分拣和组装，从而提高过程控制效率和生产力，实现高质量、可靠制造，以及最大生产力和最高效率的运行。
让我们密切合作，满足您的特殊需求

我们很高兴能在半导体创新中心与您并肩工作，在这里，我们的专业知识、解决方案和客户服务将共同推动半导体行业的成功。